气密·测漏·测试·检测方法（直压·差压·流量测试原理）
一、差压气密测试工作原理
测试过程通常包含充气、隔离、保压、测试和排气五个阶段。产品在检测过程中被施加的气压力，检测压力经有压力调节阀设定好并同时预先在测试程序中预设好，包括TR（标准参考腔体）和TP（被测工件）。
差压变化过程
1. 被测件[TP]连接到测试端口时，测试程序就会启动进行检测，在充气阶段，仪器内部电磁阀[V1]、[V2]和[V3]打开后，经过调压阀[R]的气体压力充入被测件。
充气过程
2. 在充气阶段结束后,电磁阀[V2] [V3]关闭使充入的气体隔离于被测件内部。
隔离过程
3. 电磁阀[V2] [V3]关闭使瞬间,电磁阀[V1]关闭，使[V1]至[V2]、 [V3]之间气管内的气体排出到平衡大气压的状态。一旦电磁阀[V2]有泄漏情况测试仪能监控到压力衰减速度，并显示测试NG的结果，这个额外的电磁阀使得检测仪具有自我诊断的功能。
保压过程
4. 在保压阶段，被测件内部的气体循环并趋于稳定；压力传感器[S1]检测参考腔[TR]的内部压力，然后在测试阶段被仪器的压力传感器[S2]监测。如果被测件的内部气体的泄漏量超出了预设的泄漏允许范围( 测试时间内的压力降或量化的泄漏率), 仪器会显示失败的原因并且以预先定义好的输出单位给出压力衰减或泄漏率。泄漏量=S1-S2
测试过程
4. 在测试阶段结束排气阶段开始后，电磁阀[V2] [V3]打开，被测件和标准腔内部的气体通过电磁阀[V1]排出直到平衡到大气压状态。仪器开始准备下一次测试。
排气过程
二、直压气密测试工作原理
压力检测包括直压衰减检测和真空检测（负压测试）。检漏设备可以智能的在内部预设为直压检测或者真空检测，并且可以自动地输出读数和图表给于正确的结果，本片文章主要探讨在气密压力检测常用的一种检测方法-直压衰减检测。
直压原理图
测试过程通常包含充气、稳压、测量和排气四个阶段。产品在检测过程中被施加的气压力，检测压力经有压力调节阀设定好并同时预先在测试程序中预设好。
直压衰减过程
1. 被测件[TP]连接到测试端口时，测试程序就会启动进行检测，在充气阶段，仪器内部电磁阀[V1] 和 [V2]打开后，经过调压阀[R]的气体压力充入被测件。
充气过程
2. 在充气阶段结束后, 电磁阀[V2]关闭使充入的气体隔离于被测件内部。在此瞬间之后,电磁阀[V1]关闭，使[V1]至[V2]之间气管内的气体排出到平衡大气压的状态。一旦电磁阀[V2] 有泄漏情况测试仪能监控到压力衰减速度，并显示测试不合格的结果，这个额外的电磁阀使得检测仪具有自我诊断的功能。
稳压过程
3. 在稳定阶段，被测件内部的气体循环并趋于稳定；然后在测试阶段被仪器的压力传感器[S]监测。如果被测件的内部气体的泄漏量超出了预设的泄漏允许范围( 测试时间内的压力降或量化的泄漏率)，仪器会显示失败的原因并且以预先定义好的输出单位给出压力衰减或泄漏率。
测试过程
虽然在测试的充气阶段就连续不断测量实时压力的大小, 但是仅仅读取测试阶段起始点和测试阶段结束点的两个压力值用来计算压力降。测漏仪采用实测的压力损失和要求的最大允许泄露量（已知的最大不合格点）的对比来判断被测产品是合格件还是不合格件。不合格限制点可以在参数菜单中设置，通常都设置为非常小的压力值，具体数值需要根据对各种不同特征样品进行大量实验测试才能检验得出。这个不合格压力值仅是测试阶段开始点和结束点的压差值，并不是测试压力在全量程范围的变化量。
泄漏上限, 泄漏下限(不合格范围)这项设置是为压力在测试阶段的实际压力值给出一个可以被接受的范围，这些值通常可以在测漏设备的参数进行设置，用来衡量实际测试压力(P1)和指定测试压力之间的差异程度。
4. 在测试阶段结束排气阶段开始后，电磁阀[V2]打开，被测件内部的气体通过电磁阀[V1]排出直到平衡到大气压状态。仪器开始准备下一次测试。
排气过程
三、流量式气密测试工作原理
流量测试原理图
流量测试会持续不断的向工件内部充气并且测量通过被测件流向大气的气体流量。在流量测试中, 系统至少会具备一个流量传感器去测量气体流量，并且具备一个压力传感器监测气体压力。
流量变化过程
1. 在充气、稳压和测量阶段，电池阀[V1]打开，气源会持续不断的向工件内部充气并且测量通过被测件流向大气的气体流量。在流量测试中, 系统至少会具备一个流量传感器[F]去测量气体流量，并且具备一个压力传感器[P1]监测气体压力。
充气过程
2. 在结束阶段，电池阀[V1]关闭，测试通道和工件内部内气体流向大气，完成排气。
隔离过程
流量测试可以配置为检测流过工件的流量是否满足处于程序设置好的最大最小值之间。流量测试常常被用来检查微小管道或低流量设备内部是否被堵塞。
采用流量法的泄露测试
流量测试也可以用作泄漏测试。如果使用流量法做工件内部的泄漏检测，需要先设定一个最小泄漏率到零，最大的流量值设置为您能接受的最大泄露率。最小的泄露率取决于您的产品特性和具体的要求。
采用流量法进行泄露检测有时候在某些场合是一种非常合适的选择，比如您的产品其容腔小但是可接受的泄露率相对非常高，这样流量泄漏检测法将会比压力法快很多。这是因为流量法对于小产品来说不需要稳定时间，在流量法检测中，典型的泄露值公差对于刚性小容腔产品来说粗略为0.5sccm，对于大容腔或灵活性的产品可以定为1sccm甚至更大。
但是，如果泄露率要求比较小（相对于上面的情况），直压检测法或者压差检测法仍然是泄漏测试的最佳选择。